在真空体系中，用来改动气流方向，调理气流量巨细，堵截或接通管路的真空体系元件称为真空阀门。有真空球阀，真空蝶阀，真空隔膜阀等。介质为高纯度。

  球阀、闸阀、截止阀等等均能出产成真空阀和一般惯例阀门。从外形上无差异，在阀门衔接部位规划上是有别离的，仅仅细节上的问题。

  压力低于大气压，而阀瓣上的压降不能超越1公斤力/厘米2。介质的作业时分的温度取决于运用设备的工艺进程。温度一般不超越-70 ~ +150℃的规模。

  (1)开关气路 ，改动气流的流经 道路)操控气流巨细，调理线)定量充气。

  3)榫槽式：可用塑性变形较大的垫圈，在腐蚀性介质中运用较广泛，密封效果较好。

  4)梯形槽式：用椭圆形金属环作垫圈，运用于作业所接受的压力≥64公斤/平方厘米的阀门，或高温阀门。

  5)透镜式：垫圈是透镜形状，用金属制造。用于作业所接受的压力≥100公斤/平方厘米的高压阀门，或高温阀门。

  6)O形圈式：这是一种较新的法兰衔接方式，它是跟着各种橡胶O形圈的呈现，而发展起来的，它在密封效果上比一般平垫圈牢靠。

  1)直接密封：表里螺纹直接起密封效果。为了承认和确保衔接处不漏，往往用铅油、线麻和聚四氟乙烯生料带填充;其间聚四氟乙烯生料带，运用日见广泛;这样一种资料耐腐蚀和抗老化功能很好，密封效果极佳，运用和保存便利，拆开时，能够完整地将其取下，由于它是一层无粘性的薄膜，比铅油、线)直接密封：螺纹旋紧的力气，传递给两平面间的垫圈，让垫圈起密封效果。

  卡套衔接，在我国近年才发展起来，它的衔接和密封原理是，当旋紧螺母时，卡套遭到压力，使其刃部咬入管子外壁，卡套外锥面又在压力下与接头体内锥面密合，因而能牢靠地避免走漏。

  2)衔接力强，运用规模广，可耐高压(1000公斤/平方厘米)、高温(650℃)和冲击振荡;

  以上各种衔接方式，都是运用外力来抵消介质压力，完成密封的。下面介绍运用介质压力进行自紧的衔接方式。它的密封圈装在内锥体处，跟介质相向的一面成必定视点，介质压力传给内锥体，又传递给密封圈，在必定视点的锥面上，发生两个分力，一个与阀体中心线平行向外，另一个压向阀体内壁。后边这个分力就是自紧力。介质压力愈大，自紧力也愈大。所以这种衔接方式，适合于高压阀门。它比法兰衔接，要节约许多资料和人力，但也需求必定的预紧力，以便在阀内压力不高时，运用牢靠。

  阀门衔接的方式还许多，例如有的不用撤除的小阀门，跟管子焊接在一起;有的非金属阀门，选用承插式衔接，等等。阀门运用者要根据具休状况详细对待。